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搜狐網:自主研發的國產首臺芯片檢測設備在津西集團下線
來源:搜狐網 時間:2019-10-07 瀏覽量:2814

 9月27日,津西集團下屬東方晶源公司自主研發的國產首臺電子束芯片檢測設備下線投入使用。國內最大的集成電路制造企業——中芯國際接受該設備并進行應用驗證。針對20納米以下先進芯片制造過程進行在線缺陷檢測、復檢及缺陷自動分類是我國微電子領域的“卡脖子”技術,津西集團經過五年努力打破國外技術壟斷,新投用的電子束芯片檢測設備彌補了國產微電子領域的關鍵短板。作為從唐山成長起來的鋼鐵企業,近年來,津西集團堅持多元化戰略,企業持續轉型升級,高新技術領域不斷取得新突破。


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