9月27日，津西集團東方晶源自主研發的國產首臺電子束芯片檢測設備，歷經5年不懈努力，打破國際壟斷走向產線，交付中芯國際應用驗證，拉開了國產電子束芯片檢測裝備應用的新篇章，為新中國成立70周年獻上一份厚禮。
北京經濟技術開發區、北京經濟和信息化局、中科院微電子所、北京亦莊國際投資發展有限公司、新華社戰略咨詢中心、中芯國際等單位領導和嘉賓出席，中國東方集團董事局主席兼首席執行官、津西集團董事長兼總裁韓敬遠，東方晶源干部員工代表參加儀式。
電子束缺陷檢測設備，是國產微電子領域短板中的短板。津西集團高新科技子公司東方晶源自主研發的電子束芯片檢測設備，針對20納米以下先進芯片制程進行在線缺陷檢測、復檢及缺陷自動分類，應用于半導體（芯片）代工廠。
津西集團高新科技子公司東方晶源，是集團實施“專、長、高”戰略的重要組成部分，即以“高”字跨行業發展，進軍微電子高新科技產業。
中芯國際是世界領先的集成電路企業之一，也是國內技術最先進、配套最完善、規模最大的集成電路制造企業。
津西集團電子束芯片缺陷檢測設備下線并交付中芯國際產線驗證，打破國際壟斷，實現從無到有，邁出重要一步，津西集團將與中芯國際等國內集成電路企業一起，以更加濃厚的家國情懷，把高新科技子公司做大、做精、做強，打造國內乃至國際領先的微電子行業高科技公司，掀開高質量發展新篇章，為振興民族工業貢獻更大力量。
納米級電子束檢測
芯片制造進入20納米及以下節點后，關鍵制程的尺寸測量和缺陷檢測的精確性和有效性將對產品良率產生決定性作用。納米級電子束檢測設備主要利用掃描電鏡的原理實現納米級成像并基于成像進行測量和分析。該設備主要應用在芯片制造關鍵制程，屬于芯片制造過程中良率檢測和控制的必需環節，此類設備和技術是我國集成電路行業“卡脖子”技術之一，填補了此項技術的國內空白。